车间的洁净度是较关键的指标。半导体制造需要在超洁净环境下进行,因为微小尘埃颗粒就可能造成严重缺陷。车间一般采用等级为100级或者10级的洁净室,这意味着每立方米空气中不超过100颗或10颗0.5微米以上的尘埃颗粒。这需要严格的空气过滤系统,以及严格的人员、物料进出管控。
其次,车间的温湿度控制也非常重要。半导体生产对温湿度有严格的要求,因为温湿度的变化会影响薄膜沉积、光刻等关键工艺。通常要求温度在20±0.5摄氏度,相对湿度在45%±5%。这需要精密的温湿度调节系统来维持较佳环境。
再次,静电控制也是半导体车间建设的关键。静电可能会干扰工艺设备,损坏晶圆表面。车间需要采取接地、离子风扇、防静电服装等多重措施来消除静电。
最后,振动控制同样重要。车间的地基需要采取减震措施,避免外部振动传递到工艺设备上。同时,设备本身也需要减震措施来抑制内部振动。
总的来说,半导体车间建设是一个复杂的系统工程,需要兼顾洁净度、温湿度、静电、振动等多方面因素,确保较佳的生产环境。只有建设出标准化、自动化的高洁净度车间,才能生产出高品质的半导体产品。
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